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HMDS烘箱

HMDS鍍膜機 HMDS預(yù)處理系統(tǒng) HMDS烤箱 HMDS預(yù)處理烘箱

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HMDS預(yù)處理烘箱在光刻工藝中的重要作用

HMDS 烘箱工業(yè)烘箱

HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內(nèi)加熱到(120-150°C)，在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學(xué)結(jié)合。

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更新日期
2025-09-17

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生產(chǎn)廠家

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HMDS烤箱，HMDS真空烘箱

HMDS烤箱，HMDS真空烘箱將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。

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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )-真空烘箱

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)(JS-HMDS90 )是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進行，晶片在箱內(nèi)先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再進行HMDS處理，不需要從箱內(nèi)傳出，而接觸到空氣，晶片吸收水分子的機會大大降低，所以有更好的處理效果。

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智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）

智能型HMDS真空系統(tǒng)（JS-HMDS90-AI）將HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

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智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機干泵

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵，HMDS涂膠機干泵密封設(shè)計（電機和所有軸承與真空環(huán)路*隔開）延長了軸承的使用壽命，還可提供潔凈、無油的真空條件?？蛇x的集成入口保護閥內(nèi)置于泵模塊中，可根據(jù)需要使用，不會額外增加泵的高度。

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