可程式HMDS真空 烘箱  HMDS真 空烘箱用途

用于光刻膠粘合的 HMDS 氣相沉積

晶圓基底脫水烘烤

用于半導(dǎo)體激光器芯片金屬剝離處理的光刻膠圖像反轉(zhuǎn)

HMDS真空烘箱特點

我們的控制系統(tǒng)支持用戶根據(jù)需要選擇溫度、處理時長及腔室尺寸。具有卓&越的 HMDS 鍵合和均勻性性能可實現(xiàn)高產(chǎn)量。

此外，我們的技術(shù)還能降低化學(xué)物品的使用量和成本，大批量產(chǎn)能和接近零的化學(xué)廢物排放，實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)效益。

通過工藝處理，達(dá)到圖像反轉(zhuǎn)效果，解決了圖像反轉(zhuǎn)光刻膠的復(fù)雜性。>99% 的正常運行時間和可靠性，具有經(jīng)過客戶驗證的卓&越一致性和可重復(fù)性

可程式HMDS真空 烘箱  HMDS真 空烘箱性能

設(shè)備型號：JS-HMDS90AI                           

工作室尺寸（mm）： 300*300*300，450×450×450，650*650*650,1000*1000*1000可定制
材質(zhì)：內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼
溫度范圍：RT+10-200℃ 
溫度波動度：≤±0.5
真空度：1torr
操作界面：人機(jī)對話，一鍵式作業(yè)
分層數(shù)量：1-8層
HMDS控制:可控制HMDS藥夜添加
真空泵：無油渦旋干泵
保護(hù)系統(tǒng):HMDS藥液泄漏報警提示，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過熱保護(hù)

可程式HMDS真空烘箱  HMDS真空烘箱  高溫HMDS真空烘箱應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)、科研機(jī)構(gòu)、研發(fā)平臺、高校實驗室等，及新材料、新技術(shù)行業(yè)。

   上海雋思儀器專注于半導(dǎo)體設(shè)備， 硅烷氣相沉積設(shè)備、精密熱板、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)、HMDS真空烘箱、無塵烘箱、潔凈烘箱，氮氣烘箱、無氧烘箱、無塵無氧烘箱、真空烘箱、真空無氧烘箱、干燥烘箱、真空儲存柜、環(huán)境可靠性設(shè)備、超低溫試驗箱、高精度烤膠機(jī)等設(shè)備，同時可根據(jù)客戶要求設(shè)計非標(biāo)類 適用的產(chǎn)品。