光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應(yīng)用多晶硅，石英，太陽(yáng)能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

產(chǎn)品型號(hào)：JS-HMDS90
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2025-09-17
訪問(wèn) 量：1391

立即咨詢

聯(lián)系電話：021-31434441

產(chǎn)品詳情

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱研發(fā)背景

集成電路光刻工藝中常使用HMDS對(duì)晶圓襯底進(jìn)行黏附處理，來(lái)提高光刻膠與襯底的黏附性,HMDS中文名六甲基二硅氮烷（Si(CH3)3）2NH，行業(yè)所要求純度大于99.7%。

HMDS黏附機(jī) HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱作用

襯底在空氣中易形成厚度為幾個(gè)原子層的二氧化硅薄膜，由于其具有親水性，會(huì)吸附空氣中的水分到襯底表面。光刻膠涂層多為有機(jī)疏水材料，這就造成了光刻膠與襯底黏附性差。在實(shí)際生產(chǎn)中，常將HMDS霧化，并在特定的溫度和壓力條件下處理，來(lái)改變晶圓表面的親水性。其原理可以簡(jiǎn)述為HMDS中的有機(jī)基團(tuán)取代晶圓表面水分子羥基，使晶圓表面由親水性變?yōu)槭杷浴?/span>

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱實(shí)用性

在光刻中，光刻膠的黏附效果受到光刻涂層，襯底材料，以及光刻工藝三方面的影響。HMDS的黏附處理不只是對(duì)硅基襯底有效。也用于其他襯底，諸如多晶硅，石英，太陽(yáng)能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

HMDS烘箱兼容2~12寸晶圓及碎片、方片等。

設(shè)備名稱：HMDS烘箱

設(shè)備型號(hào)： JS-HMDS90

內(nèi)腔尺寸：450×450×450、350×350×350（mm）可定制

材質(zhì)：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑、304不銹鋼，內(nèi)箱采用316L級(jí)不銹鋼

工藝溫度：110-160℃

真空度：≤1torr

工藝運(yùn)行：自動(dòng)運(yùn)行

在線咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：HMDS烘箱專用真空泵，HMDS系統(tǒng)無(wú)油泵
下一篇：JS-MOL00堅(jiān)膜烘箱百級(jí)潔凈烘箱氮?dú)鉄o(wú)塵烘箱

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：